SF6气体回收装置是由回收系统、充气系统、抽真空系统、净化系统、气体贮存系统组成，设备部分由SF6压缩机、真空泵、真空系统有防回油装置, 冷凝系统、储液罐、净化系统内置可再生干燥过滤器、尘埃过滤器、球型阀门、真空计以及电气控制，压力探测，温度计及报警装置的控制和仪表盘等辅助设施等组成。
　　SF6气体回收装置用于SF6气体绝缘电器设备的制造厂，使用运行科研等部门， 对各种电器设备进行抽真空，对电器设备充入SF6气体，并从使用或试验的电器中回收SF6气体，同时进行净化处理压缩贮存到贮罐。回收装置适用SF6电器及GIS组合电器等。
　　SF6气体回收装置在实际操作过程中的作用：
　　1、对装置本机和SF6开关及GIS抽真空及真空测量
　　2、对液化罐抽真空及真空测量
　　3、对装置本身抽真空及真空测量
　　4、对SF6开关充气
　　5、对电器设备中的SF6气体进行回收包括水份处理、油份处理
　　6、对回收和回充的SF6气体进行干燥、净化处理
　　7、对SF6电器中的SF6气体进行回收、液化储存及残压测定
　　8、对SF6气体进行压缩液态贮存。